超純水設備中一種不斷提升并保持氮封水箱合格電阻率要求的工藝專利
目前普遍使用充氮法:即在水箱水面上充入氮氣使箱內維持適當的正壓力,阻止大氣與箱內水面接觸。純水設備超純水氮封水箱是將一定量的氮氣充入密封的水箱內,水箱內氮氣壓力不大于80Kpa,氮氣是惰性氣體能防止CO2等其它物質溶入水中影響水質,保證水箱內的水不受二次污染而導致水質下降。
氮封裝置由快速泄放閥及微壓調節閥兩大部分組成,而快速泄放閥由壓力控制器及單座切斷閥組成,當純水設備儲罐內壓力升高至設定壓力時,快速泄放閥迅速開啟,將罐內多余壓力泄放。微壓調節閥是在儲罐內壓力降低時,開啟閥門,向罐內充注氮氣。因微壓調節閥必須使用在壓力為0.1Mpa壓力以下,現場N2壓力較高,必須安裝壓力調節閥將壓力降低至0.1Mpa以下才可使用。壓力可按要求分段設定,從0.5Kpa至60 Kpa以下。
氮封裝置在一定程度上防止水質衰減,但水質長時間不用水質仍然會有衰減,這樣就會造成超純水車間輸送的拋光混床樹脂消耗較快。本裝置即使氮氣封水箱水滿,EDI也不會停止工作,而是當水箱水滿時,由EDI裝置繼續不斷的循環提升氮封水箱超純水,補充水箱水質的衰減并不斷的提高氮封水箱水質。
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